- automated photomasking system
- Микроэлектроника: автоматизированная система изготовления шаблонов, автоматизированная система фотолитографической обработки полупроводниковых пластин
Универсальный англо-русский словарь. Академик.ру. 2011.
Универсальный англо-русский словарь. Академик.ру. 2011.